BF系列 大宗气体专用过滤器

BF系列大宗气体专用过滤器，专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计，采用全316L不锈钢精密打造，多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损，过滤精度高达0.003um，满足超高纯工艺需求。整体金属构造，是高温动态环境下的理想过滤解决方案。

技术参数：

产品特点

1、整体316L不锈钢结构/2、高通量、低阻力

3、超高颗粒拦截率

4、耐高温、耐高压、耐腐蚀

5、适用于多种工艺气体

6、适用于洁净室环境内制造、测试、包装

7、100%完整性测试

8、100%氨气检漏测试

流量压差曲线图

外形尺寸

产品信息