BF系列 大宗气体专用过滤器

• BF系列大宗气体专用过滤器，专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计，采用全316L不锈钢精密打造，多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损，过滤精度高达0.003um，满足超高纯工艺需求。整体金属构造，是高温动态环境下的理想过滤解决方案。技术参数：产品特点1、整体316L不锈钢结构/2、高通量、低阻力3、超高颗粒拦截率4、耐高温、耐高压、耐腐蚀5、适用于多种工艺气体6、适用于洁净室环境内制

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