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OF系列在线式专用气体过滤器,专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003um。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容...
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