扫微信-恒歌科技
24h咨询热线:
薄膜沉积过程中,气体若含有微粒或烃类污染物,会导致薄膜孔洞、剥落或电性失效。例如,在CVD工艺中,颗粒物可能成为成核点,引起不均匀沉积;在PVD中,污染物可能干扰溅射靶材的纯度。过滤器能消除湍流和颗粒携带问题,确保气流平稳,防止工艺腔体污染...
服务热线