过滤器

恒歌TF 系列全焊接直通型过滤器用于过滤系统粒子状污染物,去除气体或液体应用中的颗粒污染物。

恒歌高纯高压气体专用过滤器是专为半导体制程中的高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统设计的高性能过滤设备，过滤精度高，耐高压耐腐蚀耐高温！

恒歌高压气体专用过滤器、用于半导体制程中高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统。坚固的316L不锈钢结构和50Mpa设计压力以及相对较轻的重量相结合、兼具高强度、耐高温、耐腐蚀、高透气性及长寿命、能高效滤除压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及碳氢...

在半导体洁净室这一特殊生产环境中，工艺气体过滤器不仅需要具备精准的过滤能力，还需拥有出色的耐用性和抗污染能力，以适应长期稳定的洁净生产需求。深圳恒歌TF系列工艺气体专用过滤器中，以316不锈钢卡套过滤器为代表的产品，凭借顶级316不锈钢材质...

在半导体制造过程中，UHP超纯气体作为关键生产介质，其纯净度直接决定芯片的电路精度与使用寿命。一旦超纯气流中混入微小颗粒，轻则导致芯片出现瑕疵，重则引发整批次产品报废，给企业带来巨大经济损失。深圳恒歌研发的超纯气流微粒直通一体式过滤器，专为...

半导体企业在发展过程中，会面临不同阶段的挑战：新建产线时要抢工期、控成本;老旧设备升级时要兼顾适配性与性价比;多品类芯片生产时要应对不同工艺的差异化需求。这些挑战中，工艺气体过滤环节若掉链子，很容易拖慢整体进度。深圳恒歌 TF 系列工艺气体...

​在半导体制造领域，对于超纯工艺气体的需求极为严苛。微小的杂质颗粒都可能对芯片制造等高精度生产环节产生严重影响，导致产品质量下降甚至报废。因此，精准清除 UHP 超纯气流中的微粒，保障生产环境的纯净度，成为了半导体生产过程中的核心任务之一。...

半导体制造涵盖蚀刻、沉积、离子注入等多个工艺环节，不同环节对工艺气体的压力、温度与纯度要求各异，单一规格的过滤器难以满足全场景需求。深圳恒歌 TF 系列工艺气体专用过滤器，通过 F 型、T 型、W 型三大类型的细分设计，实现了对半导体多工艺...

在半导体高压工艺气路中，气体的净化与流量控制往往需要分开设备实现，不仅增加了气路复杂度，还可能引入额外的泄漏风险。深圳恒歌研发的高压双卡套过滤器直通过滤阀，将 “高压过滤” 与 “直通控制” 功能集成一体，为半导体高压气路提供 “净化 + ...

深圳恒歌的不锈钢真空泵过滤片，是真空系统的高纯度保障。它不仅能够有效减少工艺腔体排气时的湍流，还能在短时间内传递大量气体流，确保真空系统的高效运行。特别适用于半导体设备接口及各类真空室的通风，无论是CVD、PVD、Etch还是Epi工艺，都...

深圳恒歌的真空卡环过滤器，是真空系统中不可或缺的部件。它不仅能够有效减少工艺腔体排气时的湍流，还能在短时间内传递大量气体流，确保真空系统的高效运行。特别适用于半导体设备接口及各类真空室的通风，无论是CVD、PVD、Etch还是Epi工艺，都...

想要让空压机系统持续输出质量稳定的压缩气体，同时维持设备的高能效运转，定期对核心部件进行维护必不可少，其中精密过滤器滤芯的定期更换尤为关键。长期以来，不少使用者习惯通过观察过滤器前后的压力差值来判断滤芯是否该更换，毕竟这一指标能直观反映设备...