过滤器

直线过滤器采用316L不锈钢材质，线型结构紧凑，用于空间受限的环境下过滤气体或液体中的微固体，以保护下游流体设备。最高工作压力可达207bar；最高工作温度204℃；多种过滤精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。广泛应用于实验室、...

​恒歌高压气体过滤器主要用于过滤空气、氧气、二氧化碳、氢气、氮气等各类高压气体，能够有效去除气体中的颗粒物、水分、油分等杂质，确保气体的纯净度和质量，为下游工艺提供可靠的气体供应。

半导体洁净室对气路系统的密封性要求极高，任何微小的泄漏都可能导致洁净度下降，影响产品质量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型过滤器(W 型一体式过滤器)，以全焊接结构设计为核心，实现了 “零泄漏” 的密封效果，为半导体洁净室提供可靠的工艺...

这款半导体制造超纯气体扩散器，巧妙地结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性。其过滤精度可达 0.003um，能够精准地拦截气体中的微小颗粒，为半导体制造提供超纯的气体环境。无论是光刻、刻蚀还是沉积等工艺，都离不开这样高纯度的气...

恒歌MF系列仪器保护专用过滤器，全金属材质，专为半导体气体分配系统设计，兼容1/4”、3/8’及1/2‘VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装，是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。

恒歌在线式大宗气体系统过滤器专为半导体工艺气体净化设计，凭借卓越的过滤性能、可靠的结构设计与严格的质量管控，成为半导体行业去除工艺气体中颗粒的优选设备，为半导体生产过程中的气体洁净度提供优质保障，助力提升半导体产品质量与生产稳定性。

采用316L金属不锈钢粉末为原材料，经冷等静压成型后，通过高温真空烧结制成。通过选配金属粉末颗粒尺寸与工艺参数，调整孔隙大小与分布。恒歌可提供不同材质和尺寸的烧结金属粉末元件，可以在较恶劣的温度、压力和腐蚀工况下使用；

微米级不锈钢粉末烧结滤芯内外管壁均光滑平整，气孔分布均匀大小一致，强度好，过滤精度0.2-120微米可选。广泛应用于环保、石油、天然气、化工、环境探测、仪器仪表、制药器械等领域。有十万种以上的产品尺寸规格和类型可供选择，也可根据需要定制加工...

氮气环 选择性波峰焊氮气环垫圈由不锈钢粉末经高温烧制而成，具有耐高温，强度好等特点。选择性波峰焊所用的氮气需要使用氮气环进行气体分散、扩散，以保护喷头，减少氧化。氮气环的材质也将会影响氮气质量，氮气环需要用不锈钢材质，不然容易沾锡，造成堵塞...

在半导体产业飞速发展的当下，工艺精度不断提升，对高纯气体的洁净标准提出了前所未有的高要求。恒歌半导体气体过滤器凭借自主研发的核心技术与精细化制造工艺，打破传统过滤设备的性能局限，为半导体制造、光伏及微电子等领域提供稳定、高效的气体净化保障，...

​在半导体制造的精密世界里，电子气体是驱动光刻、刻蚀、气相沉积等核心制程运转的 “血液”，而气体纯度则是决定晶圆质量与成品率的 “生命线”。随着芯片制程向 7nm、5nm 甚至更先进节点突破，对电子气体中杂质的容忍度已降至极致 —— 哪怕是...