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恒歌MF系列仪器保护专用过滤器,全金属材质,专为半导体气体分配系统设计,兼容1/4”、3/8’及1/2'VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装,是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400°C环境下,能有效阻隔微粒侵袭,守护敏感气体组件,延长设备寿命,预防因微粒污染导致的泄露风险。可选择低压型或高压型,也可在现有配管上安装,为精密设备提供经济高效的防污屏障。
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