高流量超纯气体扩散器 过滤器_扩散器过滤器_工艺洁净过滤器

DF系列扩散器专用过滤器、专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计   稳压、稳流、规避湍流

结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性、扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003um。

独特的全316L不锈钢结构、不仅确保高效过滤、更巧妙的规避了湍流产生、对工艺室环境造成影响、有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。

可定制化设计、灵活适应各类安装空间。

产品特点

不锈钢粉末烧结介质、可快速排气

整体316L不锈钢结构

减少工艺腔体排气时的湍流

适用于多种工艺气体

洁净室环境内制造、测试、包装

100%完整性测试通过

100%氨气泄露检测通过、耐高温、耐高压、耐腐蚀

防止微粒混入、帮助提高产品合格率可根据安装空间进行设计

技术参数