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半导体气体过滤器
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BF系列大宗气体专用过滤器_半导体气体过滤器

  • BF系列大宗气体专用过滤器、专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计、采用全316L不锈钢精密打造、多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损、过滤精度高达0.003μm、满足超高纯工艺需求,整体金属构造、是高温动态环境下的理想过滤解决方案。
  • 产品详情

BF系列大宗气体专用过滤器、专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计采用全316L不锈钢精密打造、多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损、过滤精度高达0.003μm、满足超高纯工艺需求,整体金属构造、是高温动态环境下的理想过滤解决方案。

产品特点:

▶ 整体316L不锈钢结构

▶ 高通量、低阻力

▶ 超高颗粒拦截率

▶ 耐高温、耐高压、耐腐蚀

▶ 适用于多种工艺气体

▶ 适用于洁净室环境内制造、测试、包装

▶ 100%完整性测试

▶ 100%氨气检漏测试

产品应用环境:

气体洁净室环境内制造、测试、包装

产品参数:

1.拦截率:99.9999%

2.拦截颗粒:≥0.003μm

3.应用:气体洁净室环境内制造、测试、包装

4.适用介质:油、水、气等多种介质

5.温度:400-500°C

6.材质:316L粉末烧结

恒歌BF系列大宗气体专用过滤器有着多种规格型号,可提供OEM定制服务,按照您的需求设计生产大宗气体专用过滤器,为您的项目提供最专业的过滤解决方案。


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