专门为一些超高压工况研发设计的一款超高纯气体过滤器主要用于压缩机前置或后置气体的过滤,对于超纯气体过滤可通过多级处理满足工况要求,产品无焊接部位,耐压性能、安全系数极高,适用于高压工况下的气体及液体过滤,体积小,安装方便,为高压运行系统提供了相当高的技术和经济优势。产品应用范围广,与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性;微纳米颗粒过滤能力保持高流量效率,超小压降。
超纯气体指纯度高于99.99%的气体,是一种高纯化学试剂。为适应一些科学研究和尖端技术的特殊需要而制备。一些对气体要求特别纯净的部门,需要超纯气体的纯度高达99.9999%以上,每升气体中粒度大于0.5μm的尘粒数应小于三个。