CVD 化学气相沉积供气系统是半导体、光伏、精密陶瓷等行业的核心工艺设备,通过将反应气体精准输送至沉积腔体,在基材表面形成均匀薄膜,其供气纯度直接决定薄膜质量与器件性能,是高端制造业的关键环节。
实验室超纯气体管道主要用于输送电子级高纯气体(如高纯氩气、高纯氦气),应用于半导体材料制备、微电子实验等高端领域,气体纯度直接影响实验样品的性能和检测结果。
验室气源(如钢瓶气、空压机)或长距离管道中可能夹带的颗粒物和液滴,会磨损阀门、堵塞精密喷嘴或污染反应腔室。安装F直通型过滤器可有效拦截这些污染物,保护下游设备。恒歌过滤器适用于实验室气路、实验室气体管道、实验室集中供气系统工程。
集成电路作为电子产业的 “粮食”,通过在半导体晶圆上构建亿级晶体管阵列实现数据处理功能,其制程已进入 3nm 甚至 2nm 时代,广泛应用于 AI 芯片、存储设备、智能终端等高端领域。晶圆制造需经历光刻、刻蚀、沉积等数十道精密工序,根据 I...
薄膜沉积过程中,气体若含有微粒或烃类污染物,会导致薄膜孔洞、剥落或电性失效。例如,在CVD工艺中,颗粒物可能成为成核点,引起不均匀沉积;在PVD中,污染物可能干扰溅射靶材的纯度。过滤器能消除湍流和颗粒携带问题,确保气流平稳,防止工艺腔体污染...
实验室气路系统是科研、检测领域的关键基础设施,为色谱仪、质谱仪、材料分析设备等提供稳定、高纯的气体供应,广泛应用于半导体材料研发、化学分析、生物医药检测等场景,其气体洁净度直接影响实验数据的准确性。
恒歌纳米级高压气体专用过滤器,专为半导体制程中的高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统量身打造。其采用坚固的 316L 不锈钢整体结构,设计压力达 50Mpa,重量相对较轻,实现轻量化与小型化,减少安装空间,通过螺纹连接确保密封性,兼容 C...
直线过滤器采用316L不锈钢材质,线型结构紧凑,用于空间受限的环境下过滤气体或液体中的微固体,以保护下游流体设备。最高工作压力可达207bar;最高工作温度204℃;多种过滤精度:2-5微米,5-10微米,20-40微米。广泛应用于实验室、...
不锈钢烧结滤片由不锈钢316L粉末烧结制作,具有出色的强度、耐腐蚀性和耐热性,滤芯可清洗和重复使用,使用寿命长,具有出色的重复使用性能。广泛应用于石油、化工、冶金、安防防爆、食品饮料等行业。
恒歌不锈钢曝气头外螺纹气体扩散器,利用纳米微孔元器件,曝气技术可将各种工艺气体(二氧化碳、氧气、氢气、氮气等)高效地引入液体或气体中。通过精确控制气液接触面积,该技术可有效去除溶解氧或挥发性有机物,同时也可实现气体在液相中的溶解或气相中的...
定制类不锈钢过滤器由316L不锈钢粉末与金属配件组合而成,可以根据定制要求,生产各种形状、结构、不同精度和孔隙率的多孔元件,具有机械强度高、耐高温、耐腐蚀、易清洁、可机加工等优点。广泛应用于化工、制药、食品、冶金、石油、环保等领域的气液固体...
HF系列高压气体专用过滤器,用于半导体制程中高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统。坚固的316L不锈钢结构和50Mpa设计压力以及相对较轻的重量相结合,兼具高强度、耐高温、耐腐蚀、高透气性及长寿命,能高效滤除压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及...