气体过滤器

KF系列真空系统是一种广泛应用于中低真空环境的快速接头法兰系统，其设计旨在实现快速搭接和拆卸，适合于需要频繁更换系统配置或进行清洁的场景。KF系列真空系统具有以下特点：

在半导体制造领域，化学气相沉积(CVD)工艺是关键环节之一，对气体纯净度和工艺稳定性有着极高的要求。KF系列真空系统气体过滤器凭借其卓越的性能，为CVD工艺提供了可靠的气体净化解决方案，以下是其在CVD工艺中的应用优势：

恒歌不锈钢气体过滤器压缩空气氮气氧气精密过滤器采用不锈钢316L制成，通过物理吸附相结合的方法在常温下将工艺气体中的H20，O2，CO，CO2，NMHC等杂质去除，并且在316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为0.03μm的颗粒过滤器。

恒歌不锈钢高纯气体系统过滤器对于超纯气体可通过多级处理满足工况要求，产品无焊接部位，耐压性能、安全系数极高，适用于高压工况下的气体及液体过滤，体积小，安装方便，为高压运行系统提供了相当高的技术和经济优势。为一些超高压工况研发设计，具有结构简...

恒歌高压气体过滤器主要用于过滤空气、氧气、二氧化碳、氢气、氮气等各类高压气体，能够有效去除气体中的颗粒物、水分、油分等杂质，确保气体的纯净度和质量，为下游工艺提供可靠的气体供应。

​恒歌高压气体过滤器主要用于过滤空气、氧气、二氧化碳、氢气、氮气等各类高压气体，能够有效去除气体中的颗粒物、水分、油分等杂质，确保气体的纯净度和质量，为下游工艺提供可靠的气体供应。

在现代工业生产中，真空系统气体过滤器对于保障工艺的纯净度和稳定性至关重要。恒歌KF系列真空系统气体过滤器凭借其卓越的性能和广泛的应用场景，成为众多高科技产业的首选设备。

DF系列扩散器专用过滤器专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。它结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，能够有效减少工艺腔体排气时的湍流，确保气体的平稳流动。这种过滤器的过滤精度高达0.003μm，能够有效防止气流吹起...

恒歌SF系列IGS面板专用过滤器是专为半导体行业集成气体输送与控制系统设计的高性能气体过滤设备。该过滤器采用全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑的体型融合了全焊接与机械密封技术，确保了过滤器的高可靠性和长寿命。其过滤精度高达0.003μm，...

恒歌SF系列IGS面板专用过滤器是专为半导体行业集成气体输送与控制系统设计的高性能气体过滤设备。该过滤器采用全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑的体型融合了全焊接与机械密封技术，确保了过滤器的高可靠性和长寿命。其过滤精度高达0.003μm，...

恒歌0F系列在线式专用气体过滤器是专为高流量电子级气体超纯净化设计的高效过滤设备。其过滤精度高达0.003μm，能够有效去除气体中的微小颗粒和杂质，确保气体的超高纯度。该系列过滤器采用全焊接316L不锈钢外壳，结构紧凑、强度高，与多种半导体...

MF系列仪器保护专用过滤器、全金属材质、专为半导体气体分配系统设计、兼容114”、3/8”及1/2”VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装、是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下、能有效阻隔微粒侵袭...