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超高纯气体过滤器主要用于压缩机前置或后置气体的过滤,对于超纯气体过滤可通过多级处理满足工况要求,产品无焊接部位,耐压性能、安全系数极高,适用于高压工况下的气体及液体过滤,体积小,安装方便,为高压运行系统提供了相当高的技术和经济优势。产品应用范围广,与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性;微纳米颗粒过滤能力保持高流量效率,超小压降。
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