在半导体产业飞速发展的当下,工艺精度不断提升,对高纯气体的洁净标准提出了前所未有的高要求。恒歌半导体气体过滤器凭借自主研发的核心技术与精细化制造工艺,打破传统过滤设备的性能局限,为半导体制造、光伏及微电子等领域提供稳定、高效的气体净化保障,...
半导体制造的气体输送系统如同 “精密血管网络”,从集成气体输送(IGS)面板到高压气体箱,不同节点对过滤的需求千差万别。恒歌科技微电子半导体过滤器系列以 “场景化设计” 为核心,用 SF、HF 等系列产品实现全场景精准适配。
半导体制造中的 MFC(质量流量控制器)、精密阀门等设备,堪称 “娇贵的核心”—— 一旦被微粒侵袭,可能出现流量控制偏差、阀门卡滞等问题,直接影响工艺稳定性。恒歌科技 MF 系列仪器保护专用过滤器,就像一道 “隐形屏障”,为这些精密设备筑起...
BF系列大宗气体专用过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003um,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决...
BF系列大宗气体专用过滤器、专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计、采用全316L不锈钢精密打造、多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损、过滤精度高达0.003μm、满足超高纯工艺需求,整体金属构造、是高温动态环境下的理想过滤解决...
MF系列仪器保护专用过滤器、全金属材质、专为半导体气体分配系统设计、兼容114”、3/8”及1/2”VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装、是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下、能有效阻隔微粒侵袭...
KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统,特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。在规范安装及操作条件下,可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、E...
BF系列大宗气体专用过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003um,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决...
HF系列高压气体专用过滤器采用316l不锈钢经高温烧结制成,具有良好的机械性和刚性,耐高温、耐腐蚀、透气,易于清洁的特点;滤芯式的设计可更换滤芯,可以重复使用,使用寿命长;可去除压缩空气中的油、水、异物等杂质,改善下游干燥机的功能,延长精密...
在半导体制造的微观世界里,哪怕是极其微小的杂质颗粒都可能导致芯片出现严重的缺陷,从而影响整个电子产品的性能和可靠性。因此,对于高压高纯气体输送系统中的气体纯净度有着严苛的要求,这使得专业的气体过滤设备成为了关键所在,而恒歌 HF 系列高压气...