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首先呢,你得搞清楚自己要过滤啥气体。就像做饭得知道食材一样,半导体工艺里用的气体可不少,像氢气、氮气这些。而且每种气体的脾气还不一样呢。比如氢气,它爱 “发火”(易燃易爆),那选过滤器的时候,材料和密封得特别好,别让它有机会 “闹事”;氧气...
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