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半导体气体过滤器
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德国替用真空计DN16/25KF滤网耐热耐腐蚀中心支架过滤网

  • KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统,特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。在规范安装及操作条件下,可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各类真空室(装载锁、传输、冷却、工艺腔体)的通风,适合短时间内传递大量气体流的场合,
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真空系统气体过滤器

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