MF系列仪器保护专用过滤器_半导体过滤器

MF系列仪器保护专用过滤器、全金属材质、专为半导体气体分配系统设计、兼容114”、3/8”及1/2”VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装、是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下、能有效阻隔微粒侵袭、守护敏感气体组件、延长设备寿命、预防因微粒污染导致的泄露风险。可选择低压型或高压型、也可在现有配管上安装、为精密设备提供经济高效的防污屏障。产品特点1、整体3

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产品详情

MF系列仪器保护专用过滤器、全金属材质、专为半导体气体分配系统设计、兼容114”、3/8”及1/2”VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装、是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下、能有效阻隔微粒侵袭、守护敏感气体组件、延长设备寿命、预防因微粒污染导致的泄露风险。可选择低压型或高压型、也可在现有配管上安装、为精密设备提供经济高效的防污屏障。

产品特点

1、整体316L不锈钢结构

2、可以作为表面密封的过滤器、所以不需要额外的工作(切割/焊接管道用于过滤器安装)

3、耐高温、耐高压、耐腐蚀

技术参数

滤芯材质	316L不锈钢粉末烧结		壳体/垫片材质	316L不锈钢
表面处理	内表面	抛光+电解Ras0.2um	最高使用温度	400°C
	外表面	Ra < 1.бum
颗粒拦截粒径	≥99.9999999%(9LRV)@100slpm (参考MPPS，所有颗粒)		颗粒拦截粒径	20.3um