在线式专用气体过滤器_半导体超纯大流量气体过滤器

OF系列在线式专用气体过滤器，专为高流量电子级气体超纯净化设计，过滤精度高达0.003um。其结构紧凑、强度高，与多种半导体工艺气体兼容，尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳，确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒，在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。

咨询热线：13544009780
立即咨询

产品详情

0F系列在线式专用气体过滤器，专为高流量电子级气体超纯净化设计，过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高，与多种半导体工艺气体兼容，尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳，确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒，在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤，满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。

产品特点

1，整体316L不锈钢结构

2，适合高温应用

3，超高颗粒拦截率

4，高流量、高强度、稳定可靠

5，适用于多种工艺气体

6，可选其它点位在线安装，方便快捷

7，100%完整性测试

8，100%氨气检漏测试

产品参数

滤芯材质	316L不锈钢粉末烧结		壳体材质	316L不锈钢
最大进气压力	207bar		最大工作压差	5.2bar
氦气验证泄漏率	2x10^-10cc/min		氦气测试泄露率	1x10^-10cc/min
表面处理	外表面	Ra < 1.6μm	最高使用温度	惰性气体	400-500°C
	内表面	Ra < 0.2μm		腐蚀性气体，反应气体	50°C
颗粒拦截效率	≧99.9999999%(9LRV)@30slpm		下游洁净度	≧0.03particles/liter @>0.01um，30slpm
颗粒拦截粒径	≧0.003μm