气体过滤IGS面板专用过滤器_半导体洁净高纯气体过滤器

SF系列IGS面板专用过滤器，用于半导体行业集成气体输送与控制系统，兼容C型和W型多种密封规格，实现0.003um级高效颗粒过滤，保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量，适助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级，安装维护便捷高效。

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产品详情

SF系列IGS面板专用过滤器用于半导体行业集成气体输送与控制系统、兼容C型和W型多种密封规格、实现0.003μm级高效颗粒过滤、保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量、适助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造、坚固耐用、紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的表面安装元件、便于系统集成与模块化设计升级、安装维护便捷高效。

产品特点

▶ 整体316L不锈钢结构

▶ 小型化设计、结构紧凑、不占用空间优异的气体置换和解吸特性

▶ 耐高温、耐高压、耐腐蚀

▶ 电解抛光316L不锈钢外壳

▶ 安装与检修便捷高效

▶ 采用机械密封、结构上与介质无焊接

技术参数

滤芯材质	316L不锈钢粉末烧结		壳体材质	316L不锈钢
最大进气压力	3.4Mpa@100°C		最大工作压差	0.69Mpa@100°C
氦气验证泄漏率	1x10^-10cc/min		氦溍照气测试泄漏率	1x10^-10cc/min
表面处理	外表面	Ra < 1.6μm	最高使用温度	460℃
表面处理	内表面	Ra < 0.13μm	最高使用温度	460℃
颗粒拦截效率	≧99.9999999%(9LRV)@120slpm (参考MPPS所有颗粒)		下游洁净度	颗粒释放:<0.03particles/liter (<1particle/ft3)greater than 0.01μm Volatiles:<10ppb moisture
颗粒拦截粒径	≧0.003μm		流量范围	0~120slpm