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SF系列IGS面板专用过滤器，用于半导体行业集成气体输送与控制系统，兼容C型和W型多种密封规格，实现0.003um级高效颗粒过滤，保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量，适助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级，安装维护便捷高效。

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