多孔金属限流器_半导体限流器

RF系列多孔金属限流器：压缩气体供应管线和气体分配歧管中，保护气体  流量稳定可靠，它通过与不同规格的气阻配件结合、安装在压缩气体供应管线和气体分配歧管中、以防止由于气体管线破裂、阀门或压力调节器故障、引起的意外高气体流量。在半导体制程气体输送分配系统中、用于保护气体流量稳定可靠、减少气体流动负担、避免气体过载引发不良后果。结构坚因、更换便捷。

多孔金属限流器特点：

1、结构紧凑、节省空间

2、通过更换气阻配件、可定制不同流量

3、流量控制可靠持久

4、可用于高流量、高温度与高压力环境、减少气体流动负担、不易堵塞、可形成层流整体316L不锈钢结构、无结构弯曲或颗粒脱落

5、使用寿命长

6、100%氨气泄露检测通过

技术参数