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半导体气体过滤器
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不锈钢烧结金属微孔VCR过滤垫片_气体管路密封限流接头

  • 半导体制造:在半导体生产过程中,需要输送大量的高纯气体,如氢气、氮气等。VCR 过滤垫片气体管路密封限流接头可以确保气体的纯度,防止杂质进入生产设备,同时精确控制气体流量,保证芯片制造过程的稳定性和可靠性。
  • 产品详情

VCR(Vacuum Coupling Retainer)过滤垫片气体管路密封限流接头是一种用于气体管路连接的部件。它主要起到密封、过滤和限流的作用。

密封功能在气体管路系统中,确保连接部位的气密性至关重要。VCR 接头通过高精度的加工和特殊的密封结构,能够有效防止气体泄漏。其密封原理通常是利用金属垫片在接头拧紧时发生弹性变形,填充连接面的微小间隙,从而达到密封效果。例如,在半导体制造的高纯气体输送管路中,哪怕是微小的泄漏都可能导致产品质量下降,VCR 接头的良好密封性能就可以避免这种情况。

过滤功能过滤垫片是其重要组成部分。它可以过滤掉气体中的微小颗粒杂质。在一些对气体纯度要求很高的行业,如制药、电子芯片制造等,气体中的杂质可能会对生产过程产生严重影响。例如,在制药行业的无菌气体输送中,过滤垫片可以拦截细菌、灰尘等杂质,保证输送的气体符合生产要求。

限流功能:能够对气体的流量进行一定程度的限制和调节。这在需要精确控制气体流量的实验或生产过程中非常重要。比如在化学实验的气体反应过程中,通过 VCR 接头可以按照实验要求精确控制反应气体的流量,以确保反应的稳定性和可重复性。

应用领域:

半导体制造:在半导体生产过程中,需要输送大量的高纯气体,如氢气、氮气等。VCR 过滤垫片气体管路密封限流接头可以确保气体的纯度,防止杂质进入生产设备,同时精确控制气体流量,保证芯片制造过程的稳定性和可靠性。

产品参数

滤芯材质    316L不锈钢粉末烧结壳体/垫片材质  316L不锈钢
表面处理   内表面   抛光+电解Ras0.2um最高使用温度    400°C
外表面     Ra < 1.бum  
颗粒拦截粒径  ≥99.9999999%(9LRV)@100slpm
(参考MPPS,所有颗粒)
颗粒拦截粒径  20.3um


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