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半导体气体过滤器
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国产VCR 过滤垫片兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 标准垫圈接口

  • 恒歌国产MF系列仪器保护专用过滤器(VCR 过滤垫片),低压款专为半导体气体分配系统精心研制。其采用全金属 316L 不锈钢结构,耐高温、耐高压、耐腐蚀性能卓越。该过滤器兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 标准垫圈接口,采用垫片式便捷安装,无需切割或焊接管道,直接作为表面密封过滤器,极大降低安装难度。在高达 400℃环境下,能高效阻隔微粒,为 MFC 模块、精密阀门及稳压设备等敏感气体组件保驾护航,有效预防因微粒污染引发的泄露风险,延长设备使用寿命。我们提供低压型与高压型供您选择,也支持在现有配管上安装,为您的精密设备搭建经济高效的防污屏障。此外,本产品支持定制加工,可依据您的特殊需求进行个性化打造,全方位满足半导体生产的严苛要求 。
  • 产品详情

恒歌国产MF系列仪器保护专用过滤器(VCR 过滤垫片),低压款专为半导体气体分配系统精心研制。其采用全金属 316L 不锈钢结构,耐高温、耐高压、耐腐蚀性能卓越。该过滤器兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 标准垫圈接口,采用垫片式便捷安装,无需切割或焊接管道,直接作为表面密封过滤器,极大降低安装难度。在高达 400℃环境下,能高效阻隔微粒,为 MFC 模块、精密阀门及稳压设备等敏感气体组件保驾护航,有效预防因微粒污染引发的泄露风险,延长设备使用寿命。我们提供低压型与高压型供您选择,也支持在现有配管上安装,为您的精密设备搭建经济高效的防污屏障。此外,本产品支持定制加工,可依据您的特殊需求进行个性化打造,全方位满足半导体生产的严苛要求 。

产品特点

●  整体316L不锈钢结构:坚固耐用,耐腐蚀性强。

●  便捷安装:作为表面密封的过滤器,无需额外工作即可安装。

●  耐高温、耐高压:适用于极端环境。

●  高过滤效率:有效滤除微粒,保护系统免受污染。

我们的产品可定制加工,满足不同客户的需求。选择MF系列VCR过滤垫片,为您的半导体气体分配系统提供可靠的保护。


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