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恒歌真空NM40/KF40过滤器_用于半导体设备接口

KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统，特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。在规范安装及操作条件下，可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各类真空室(装载锁、传输、冷却、工艺腔体)的通风，适合短时间内传递大量气体流的场合。

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产品详情

KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统，特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。

在规范安装及操作条件下，可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各类真空室(装载锁、传输、冷却、工艺腔体)的通风，适合短时间内传递大量气体流的场合。

产品特点

●减少工艺腔体排气时的湍流

●适用于多种工艺气体

●洁净室环境内制造、测试、包装

●100% 完整性测试通过

技术参数

滤芯材质	16L不锈钢粉末烧结	壳体材质	316L不锈钢
最大进气压力	6.89bar	0-ring	氟橡胶(可选)
最大工作压差	3bar	工作寿命	≥100,000cycles
最高操作温度	100°C with 0-ring 400'C with no 0-ring	下游洁净度	≥0.03particles/liter @>0.01um rate flow

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半导体-真空系统气体过滤器_05.jpg

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