恒歌NM50/KF50真空系统过滤器_不锈钢烧结过滤器厂家

KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统，特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。

性能表现

在规范安装及操作条件下，具备出色的稳定性，可确保产品完整性能够达到 3.000.000 次循环，显示出了较高的耐用程度和可靠性能。

应用场景

半导体设备接口：广泛应用于诸如 CVD(化学气相沉积)、PVD(物理气相沉积)、Etch(蚀刻)、Epi(外延生长)等半导体设备接口，可见其在半导体制造相关环节有着重要作用。

各类真空室：涵盖装载锁、传输、冷却、工艺腔体等各类真空室的通风工作，并且适合在短时间内需要传递大量气体流的场合，满足多种不同的工艺需求和气体处理情况。

产品特点

●减少工艺腔体排气时的湍流

●适用于多种工艺气体

●洁净室环境内制造、测试、包装

●100% 完整性测试通过

技术参数