用于高压系统精密密封的 1/4″ 不锈钢 VCR 垫圈过滤器

用于半导体应用的多孔金属垫片过滤器

保护精密气体系统的可靠解决方案：

（1）这种全金属过滤器专为半导体气体分配系统设计，可与 1/4“ 、3/8” 和 1/2" VCR 标准垫片接口无缝兼容。

（2） 垫圈式设计确保安装简便，是 MFC(质量流量控制器)模块、精密阀门和压力调节器的重要保护屏障。

（3）多孔金属垫片过滤器可承受高达 400°C 的温度，有效阻止颗粒侵入、保护敏感的气体元件。

（4）通过防止与污染有关的泄漏，它可以延长设备的使用寿命并降低维护成本。

（5）该过滤器有低压和高压两种型号，可改装到现有的管道系统中、为保护精密设备免受污染提供了经济高效的解决方案。

规格

产品特点

低压系列

适用于低压系统管道

*最大工作压力0.98Mpa
*流量范围：0~100slpm

多孔不锈钢VCR垫片过滤器的应用

1.半导体制造：

●用于气体分配系统，以过滤颗粒并保护质量流量控制器 (MFC)、阀门和调节器等敏感元件。

●确保化学气相沉积(CVD)和蚀刻等工艺中的洁净气体供应，防止颗粒污染导致产品缺陷。

2.制药和生物技术行业：

●非常适合用于关键工艺的高纯度气体输送系统，如药品生产中的气体灭菌或气体混合。

●通过过滤可能影响产品质量的杂质，确保生产中使用的气体的完整性。

3.航空航天和高科技制造业：

●应用于航空航天领域先进材料、涂层和组件制造所用的精密气流控制系统。

●可承受极端的温度和压力，在苛刻的环境中提供持久的颗粒过滤。

4.化学处理：

●适用于存在高温、高压和腐蚀性环境的化工厂供气管道。

●防止可能破坏化学反应或导致设备故障的微粒污染。

5.实验室和研究设施

●用于气相色谱仪、质谱仪或其他敏感分析设备等科学仪器的高精度气体输送系统。

●保护精密仪器免受微粒污染，提高精度和使用寿命。

6.高纯度气体分配：

●对于需要超洁净气体的系统(如电子制造中使用的系统)至关重要，因为污染物会破坏制造过程。

●316L 不锈钢结构确保了耐用性和耐化学性，使其适用于恶劣的工作环境。

7.低温气体系统：

●适用于低温气体输送系统，在医疗气体供应或液化气处理等行业中，过滤掉可能影响低温工艺性能的颗粒至关重要。

8.石油和天然气行业：

●用于炼油厂或石化厂的气体过滤系统，确保清除气流中的污染物，保护设备免受堵塞或磨损。

产品的主要优点：

*耐高温和高压，使过滤器能够在极端条件下可靠运行。

*316L 不锈钢耐腐蚀，即使在化学腐蚀性环境中也能确保较长的使用寿命。

*安装方便，无需额外切割或焊接，易于改装到现有系统中。

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