高压双卡套过滤器直通过滤阀_卡套式T形气体过滤器

在半导体高压工艺气路中，气体的净化与流量控制往往需要分开设备实现，不仅增加了气路复杂度，还可能引入额外的泄漏风险。深圳恒歌研发的高压双卡套过滤器直通过滤阀，将 “高压过滤” 与 “直通控制” 功能集成一体，为半导体高压气路提供 “净化 + 控制” 的一体化解决方案。

该设备的核心优势在于超强的耐压性能，工作压力可达 414bar(6000psig)，同时能在 - 28~+482℃的宽温度范围内稳定运行，完全适配半导体高压离子注入、高压气相沉积等工艺场景。双卡套连接设计进一步提升了密封可靠性，通过双重密封结构有效杜绝高压状态下的气体泄漏，保障生产安全。

在净化性能上，高压双卡套过滤器直通过滤阀具备超高颗粒拦截率，能精准捕捉 UHP 超纯气流中的微粒杂质，确保进入工艺设备的气体纯净度达到半导体生产标准。其直通式结构设计实现了高通量、低阻力的气体流动，在高效过滤的同时减少压力损耗，保障气路系统的流量稳定，不影响生产节拍。

材质方面，设备采用整体 316L 不锈钢打造，具备优异的耐腐蚀性能，可兼容半导体行业常用的各类腐蚀性工艺气体，避免材质与气体发生化学反应，确保过滤后气体的纯度不受影响。安装过程无需焊接，仅需通过双卡套与气路对接紧固即可完成，简化操作流程的同时降低杂质引入风险。

所有高压双卡套过滤器直通过滤阀均经过 100% 完整性测试与 100% 氨气检漏测试，出厂品质有保障。对于需要同时实现高压气体净化与控制的半导体企业而言，该设备无疑是提升气路效率、保障生产安全的理想选择。