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半导体气体过滤器
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半导体精密过滤压缩空气氨气滤芯纳米级过滤器洁净气体过滤器

  • HF系列高压气体专用过滤器,用于半导体制程中高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统。坚固的316L不锈钢结构和50Mpa设计压力以及相对较轻的重量相结合,兼具高强度、耐高温、耐腐蚀、高透气性及长寿命,能高效滤除压缩空气中的尘埃、铁锈、油雾及碳氢化合物,保护系统免受污染,从而提升气体质量、保障设备高效运行。滤芯可更换,维护简便。
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