在线式专用气体过滤器_高流量电子级气体超纯净化专用

恒歌0F系列在线式专用气体过滤器是专为高流量电子级气体超纯净化设计的高效过滤设备。其过滤精度高达0.003μm，能够有效去除气体中的微小颗粒和杂质，确保气体的超高纯度。该系列过滤器采用全焊接316L不锈钢外壳，结构紧凑、强度高，与多种半导体工艺气体兼容，尤其适用于大宗气体及惰性气体。

产品特点

●  整体316L不锈钢结构：采用316L不锈钢材质，确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。

●  超高颗粒拦截率：颗粒拦截效率高达99.9999999%，能够有效去除0.003μm以上的颗粒。

●  高流量、高强度、稳定可靠：设计用于高流量气体供应，确保气体供应的稳定性和可靠性。

●  适用于多种工艺气体：与多种半导体工艺气体兼容，满足不同工艺需求。

●  可选其他点位在线安装：安装方便快捷，可根据工艺需求选择不同的安装位置。

●  100%完整性测试与氨气检漏测试：出厂前经过严格测试，确保产品的高质量和可靠性

0F系列在线式专用气体过滤器广泛应用于以下领域：

●  半导体制造：在半导体生产过程中，气体的高纯度对产品质量至关重要。该过滤器能够有效去除气体中的杂质，确保半导体制造工艺的纯净度。

●  LED与光伏产业：在LED和光伏生产中，气体的纯净度直接影响产品的性能和寿命。0F系列过滤器能够提供超高纯度过滤，满足这些行业的严格要求。

●  MEMS设备：在微机电系统(MEMS)设备制造中，气体的纯净度对设备的精度和可靠性至关重要。该过滤器能够确保气体的高纯度，保障MEMS设备的生产质量。

●  大流量特种气体供应：适用于需要大流量气体供应的场合，如大宗气体供应系统，确保气体供应的稳定性和纯净度。

●  超高纯度气棒：在需要超高纯度气体的工艺中，如气棒应用，0F系列过滤器能够提供可靠的气体净化解决方案。

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