高精度IGS面板专用过滤器_半导体行业专用气体过滤器

恒歌SF系列IGS面板专用过滤器是专为半导体行业集成气体输送与控制系统设计的高性能气体过滤设备。该过滤器采用全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑的体型融合了全焊接与机械密封技术，确保了过滤器的高可靠性和长寿命。其过滤精度高达0.003μm，能够实现9-LRV清洁度，有效保障气体的超高纯度。此外，该过滤器支持高达100slpm的大流量，助力设备升级无忧，适用于多种半导体工艺气体，确保系统的高效运行。

产品特点

●  整体316L不锈钢结构

采用316L不锈钢材质，确保过滤器在高压和腐蚀性气体环境中的稳定性和耐用性。这种材质不仅坚固耐用，还具有优异的耐腐蚀性能，能够有效抵御各种化学物质的侵蚀。

●  小型化设计、结构紧凑、不占用空间

过滤器采用小型化设计，结构紧凑，不占用过多安装空间。其优异的气体置换和解吸特性，确保气体流动顺畅，过滤效率高。

●  耐高温、耐高压、耐腐蚀

过滤器能够在高温、高压和腐蚀性环境中稳定运行，确保气体输送系统的安全性和可靠性。其耐高温、耐高压、耐腐蚀的特性使其成为半导体制造中不可或缺的设备。

●  电解抛光316L不锈钢外壳

外壳采用电解抛光处理，表面光洁度高，减少气体在输送过程中的阻力和杂质吸附，进一步提升气体的纯净度。

●  安装与检修便捷高效

过滤器的设计注重安装和检修的便捷性，采用机械密封技术，结构上与介质无焊接，确保密封性能的同时，降低了维护成本和设备停机时间。

●  采用机械密封、结构上与介质无焊接

采用机械密封技术，确保过滤器在运行过程中的密封性能，避免气体泄漏。结构上与介质无焊接，进一步提高了过滤器的可靠性和安全性。

应用领域

●  半导体制造

在半导体制造中，气体的纯净度直接影响芯片的质量和性能。SF系列IGS面板专用过滤器能够有效去除气体中的杂质，确保气体的高纯度，从而提高芯片的良品率和生产效率。

●  集成气体输送与控制系统

该过滤器兼容C型和W型多种密封规格，能够无缝集成到现有的气体输送与控制系统中，实现高效的气体净化和输送。

●  设备升级与模块化设计

采用符合SEMI标准的表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级。其紧凑的体型和便捷的安装维护特性，使其成为设备升级的理想选择。