不锈钢IGS面板专用过滤器_半导体工艺气体过滤器

恒歌SF系列IGS面板专用过滤器是专为半导体行业集成气体输送与控制系统设计的高性能气体过滤设备。该过滤器采用全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑的体型融合了全焊接与机械密封技术，确保了过滤器的高可靠性和长寿命。其过滤精度高达0.003μm，能够实现9-LRV清洁度，有效保障气体的超高纯度。此外，该过滤器支持高达100slpm的大流量，助力设备升级无忧，适用于多种半导体工艺气体，确保系统的高效运行。

产品特点

●  整体316L不锈钢结构

●  小型化设计、结构紧凑、不占用空间优异的气体置换和解吸特性

●  耐高温、耐高压、耐腐蚀

●  电解抛光316L不锈钢外壳

●  安装与检修便捷高效

●   采用机械密封、结构上与介质无焊接

应用领域

●  半导体制造

在半导体制造中，气体的纯净度直接影响芯片的质量和性能。SF系列IGS面板专用过滤器能够有效去除气体中的杂质，确保气体的高纯度，从而提高芯片的良品率和生产效率。

●  集成气体输送与控制系统

该过滤器兼容C型和W型多种密封规格，能够无缝集成到现有的气体输送与控制系统中，实现高效的气体净化和输送。

●  设备升级与模块化设计

采用符合SEMI标准的表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级。其紧凑的体型和便捷的安装维护特性，使其成为设备升级的理想选择。

在半导体行业中，SF 系列 IGS 面板应用过滤器主要有以下原因：

●  确保气体纯度：半导体制造工艺对气体纯度要求极高。例如，在芯片制造的光刻环节，哪怕极其微小的颗粒杂质，都可能导致光刻图案出现偏差，影响芯片的精度和性能。过滤器能够实现 0.003μm 级的高效颗粒过滤，保障 9 - LRV 清洁度，将气体中的尘埃、金属离子等杂质有效拦截，为半导体工艺提供近乎纯净的气体，满足生产高质量、高性能芯片的严苛要求。

●  保护设备：半导体生产设备通常非常精密且昂贵。如果气体中含有杂质，可能会对设备的内部部件，如气体输送管道、阀门、反应腔等造成磨损、腐蚀或堵塞，缩短设备的使用寿命，增加维修成本。过滤器可以将气体中的杂质过滤掉，减少杂质对设备的损害，延长设备的正常运行时间，降低设备维护频率和成本，提高生产的连续性和稳定性。

●  提升工艺稳定性：稳定的工艺条件是半导体制造的关键。气体中的杂质可能会引发化学反应异常，导致工艺参数波动，影响产品的一致性和良品率。通过使用过滤器，可以有效去除杂质，使气体成分稳定，从而确保工艺过程的稳定性，提高产品的一致性和良品率，降低生产成本。