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可通过多级处理满足工况要求,产品无焊接部位,耐压性能、安全系数极高,适用于高压工况下的气体及液体过滤,体积小,安装方便,为高压运行系统提供了相当高的技术和经济优势。产品应用范围广,与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性;微纳米颗粒过滤能力保持高流量效率,超小压降。恒歌气液混合过滤器由不锈钢316l材质组合制成。配备易于更换的各种材质的滤芯,具有不同的滤径和多种过滤器尺寸,可广泛应用于各种工况。过滤样气杂质、颗粒等,耐腐蚀、耐高压、不易生锈、广泛适用于各种气体预处理系统中。超纯气体过滤
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