316l不锈钢材质高强度耐超高压超高纯气体过滤器

恒歌气体纯化过滤器采用不锈钢316L制成，通过物理吸附相结合的方法在常温下将工艺气体中的H20，O2，CO，CO2，NMHC等杂质去除，并且在316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为3纳米到100微米的颗粒过滤器。

产品特点及规格:

1、耐高温耐高压耐腐蚀

2、整体316L不锈钢结构

3、适用于多种工艺气体

4、高通量、低阻力

5、超高颗粒拦截效率

6、100%氨气检露测试

7、内置0.003-100微米过滤器

8、出口气体各杂质含量小于5ppb

9、可配置两阀、三阀和四阀等组件

透气孔径：

纳米级：3nm、7nm、50nm、100nm、200nm、500nm可定制

微米级的：0.003-100μm

产品应用

恒歌半导体气体纯化过滤器专业应用于半导体制程超纯工艺气体在线过滤、大流量电子级气体超纯净化开发、集体气体输送分配、气体限流，特别适用于惰性气体和反应性气体的过滤。