半导体制造涵盖蚀刻、沉积、离子注入等多个工艺环节,不同环节对工艺气体的压力、温度与纯度要求各异,单一规格的过滤器难以满足全场景需求。深圳恒歌 TF 系列工艺气体专用过滤器,通过 F 型、T 型、W 型三大类型的细分设计,实现了对半导体多工艺...
半导体洁净室对气路系统的密封性要求极高,任何微小的泄漏都可能导致洁净度下降,影响产品质量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型过滤器(W 型一体式过滤器),以全焊接结构设计为核心,实现了 “零泄漏” 的密封效果,为半导体洁净室提供可靠的工艺...
在半导体高压工艺气路中,气体的净化与流量控制往往需要分开设备实现,不仅增加了气路复杂度,还可能引入额外的泄漏风险。深圳恒歌研发的高压双卡套过滤器直通过滤阀,将 “高压过滤” 与 “直通控制” 功能集成一体,为半导体高压气路提供 “净化 + ...
深圳恒歌的不锈钢真空泵过滤片,是真空系统的高纯度保障。它不仅能够有效减少工艺腔体排气时的湍流,还能在短时间内传递大量气体流,确保真空系统的高效运行。特别适用于半导体设备接口及各类真空室的通风,无论是CVD、PVD、Etch还是Epi工艺,都...
深圳恒歌的真空卡环过滤器,是真空系统中不可或缺的部件。它不仅能够有效减少工艺腔体排气时的湍流,还能在短时间内传递大量气体流,确保真空系统的高效运行。特别适用于半导体设备接口及各类真空室的通风,无论是CVD、PVD、Etch还是Epi工艺,都...
在半导体、LED、光伏及MEMS等高科技产业中,气体的纯度对产品质量和生产效率有着至关重要的影响。恒歌科技凭借其在多孔金属材料和精密烧结工艺领域的深厚积累,精心打造了专为高流量电子级气体超纯净化设计的特气柜电子气气体过滤器,为这些行业提供了...
恒歌RF 系列多孔金属限流器通过与不同规格的气阻配件灵活组合,可便捷安装于压缩气体供应管线和气体分配歧管中。在半导体制程气体输送分配系统等对气体流量稳定性要求极高的场景下,它能有效防止意外高气体流量,保护系统稳定可靠运行,减少气体流动负担,...
在现代工业生产中,气体的高纯度是保证产品质量和生产效率的关键因素之一。深圳恒歌的高效高纯分离纳米气体过滤器,采用先进的纳米级过滤技术,能够高效去除气体中的微小杂质,确保气体的高纯度。该过滤器采用坚固的316L不锈钢结构,设计压力高达50Mp...
在半导体制造领域,气体的纯度直接影响着产品的质量和性能。深圳恒歌推出的BF系列大宗气体专用过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,是高纯大流量过滤器的典范。该过滤器采用全316L不锈钢精密打造,不仅坚固耐用,还具备卓越的耐腐蚀...
在半导体制造过程中,气体的纯度是影响产品质量的关键因素之一。深圳恒歌的BF系列大宗气体专用过滤器,专为超高纯工艺气体在线过滤而设计,能够有效去除气体中的杂质,确保气体的超高纯度。
在半导体制造的超高纯工艺中,气体纯度直接决定芯片良率。深圳恒歌推出的 BF 系列大宗气体专用过滤器,正是为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤量身定制的核心设备。
在工业生产中,压缩空气系统的气体质量直接影响到生产设备的运行效率和产品质量。深圳恒歌的压缩空气系统不锈钢高纯气体过滤器,以其卓越的性能和高效过滤能力,成为提升气体质量的关键设备。该过滤器采用坚固的316L不锈钢结构,设计压力高达50Mpa,...