深圳恒歌 DF 系列气体扩散器过滤器,是专为半导体制程中真空腔体快速放气应用打造的核心装备。这款产品创新性融合了扩散器的优化气流特性与高效过滤器的精密拦截能力,通过独特的结构设计,在实现 0.003μm 超高过滤精度的同时,彻底规避排气过程...
深圳恒歌DF系列真空腔体快速放气器,是针对半导体制造中真空腔体高效破真空需求研发的专用装备。这款产品打破了“快速排气与环境洁净不可兼得”的行业瓶颈,通过不锈钢粉末烧结介质的高效流通特性与0.003μm精密过滤能力,在实现毫秒级快速放气的同时...
恒歌在线式大宗气体系统过滤器专为半导体工艺气体净化设计,凭借卓越的过滤性能、可靠的结构设计与严格的质量管控,成为半导体行业去除工艺气体中颗粒的优选设备,为半导体生产过程中的气体洁净度提供优质保障,助力提升半导体产品质量与生产稳定性。
恒歌全焊接直通型过滤器主要用于去除气体或液体中的颗粒污染物,确保工业流体系统的稳定运行。
在半导体制造中,大宗气体作为关键生产原料,其纯度直接关系到晶圆制程的稳定性与产品合格率。深圳恒歌专注半导体领域需求,推出供应半导体大宗气体终端晶圆制程工艺气体全金属气体过滤器,专为半导体制程中真空腔体快速放气应用设计,以全金属结构的可靠性与...
在微电子半导体晶圆制程中,工艺气体的供应效率与过滤质量是提升生产效率的重要因素。深圳恒歌推出的微电子半导体晶圆制程工艺气体过滤终端 316L 外壳快速进气扩散器,将扩散器的快速进气特性与高效过滤功能相结合,为晶圆制程提供高效、洁净的气体供应...
这款半导体制造超纯气体扩散器,巧妙地结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性。其过滤精度可达 0.003um,能够精准地拦截气体中的微小颗粒,为半导体制造提供超纯的气体环境。无论是光刻、刻蚀还是沉积等工艺,都离不开这样高纯度的气...
半导体制造涵盖蚀刻、沉积、离子注入等多个工艺环节,不同环节对工艺气体的压力、温度与纯度要求各异,单一规格的过滤器难以满足全场景需求。深圳恒歌 TF 系列工艺气体专用过滤器,通过 F 型、T 型、W 型三大类型的细分设计,实现了对半导体多工艺...
半导体洁净室对气路系统的密封性要求极高,任何微小的泄漏都可能导致洁净度下降,影响产品质量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型过滤器(W 型一体式过滤器),以全焊接结构设计为核心,实现了 “零泄漏” 的密封效果,为半导体洁净室提供可靠的工艺...
在半导体高压工艺气路中,气体的净化与流量控制往往需要分开设备实现,不仅增加了气路复杂度,还可能引入额外的泄漏风险。深圳恒歌研发的高压双卡套过滤器直通过滤阀,将 “高压过滤” 与 “直通控制” 功能集成一体,为半导体高压气路提供 “净化 + ...
深圳恒歌的不锈钢真空泵过滤片,是真空系统的高纯度保障。它不仅能够有效减少工艺腔体排气时的湍流,还能在短时间内传递大量气体流,确保真空系统的高效运行。特别适用于半导体设备接口及各类真空室的通风,无论是CVD、PVD、Etch还是Epi工艺,都...