
BF系列大宗气体专用过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003um,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决...

半导体洁净室对气路系统的密封性要求极高,任何微小的泄漏都可能导致洁净度下降,影响产品质量。深圳恒歌 TF 系列中的全焊接直通型过滤器(W 型一体式过滤器),以全焊接结构设计为核心,实现了 “零泄漏” 的密封效果,为半导体洁净室提供可靠的工艺...

DF系列扩散器专用过滤器,专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性,扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。独特的全316L不锈钢结构,不仅确保高效过滤,更巧妙的规避了湍流产生,...

这款半导体制造超纯气体扩散器,巧妙地结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性。其过滤精度可达 0.003um,能够精准地拦截气体中的微小颗粒,为半导体制造提供超纯的气体环境。无论是光刻、刻蚀还是沉积等工艺,都离不开这样高纯度的气...

恒歌RF 系列多孔金属限流器通过与不同规格的气阻配件灵活组合,可便捷安装于压缩气体供应管线和气体分配歧管中。在半导体制程气体输送分配系统等对气体流量稳定性要求极高的场景下,它能有效防止意外高气体流量,保护系统稳定可靠运行,减少气体流动负担,...

BF系列大宗气体专用过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003um,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决...

不锈钢气源处理器三联件由空气过滤器、减压阀和油雾器三大元件组成。该产品采用不锈钢材质,具有耐腐蚀、结构精巧、工艺精良等特点。空气过滤器用于净化气源,过滤压缩空气中的水分和杂质;减压阀则对气源进行稳压,确保气压恒定,保护气动系统中的阀门和执行...

恒歌不锈钢阻尼限流器是限制流体(通常是气体或液体)流动的装置,通过将逆流限制在校准孔口内来精确控制逆流。这种阀通常用于气缸、容器或蓄能器的充注管线中其中需要快速充注然后以预定速率回流已充注的流体。

恒歌国产VCR过滤垫片是一种专为高纯气体输送系统设计的高性能密封元件,广泛应用于半导体、制药、化工等对气体纯度要求极高的领域。它通常由316L不锈钢等优质金属材料制成,具有耐高温、耐腐蚀、耐高压的特性,能够在高达400C的环境下稳定工作。

在半导体高压工艺气路中,气体的净化与流量控制往往需要分开设备实现,不仅增加了气路复杂度,还可能引入额外的泄漏风险。深圳恒歌研发的高压双卡套过滤器直通过滤阀,将 “高压过滤” 与 “直通控制” 功能集成一体,为半导体高压气路提供 “净化 + ...

恒歌 HF 系列氢气特气柜专用过滤器,专为高压氢气输送场景设计,采用防爆型 316L 不锈钢结构,严格遵循氢气安全标准,设计压力 50Mpa,可高效滤除氢气中的油雾、水分、金属颗粒及碳氢化合物,保障特气柜系统安全稳定运行。

洁净压缩空气管道用于电子制造、医药包装、食品加工、精密机械等行业,提供无油、无尘、无水的压缩空气,作为生产动力或直接接触产品的介质,其洁净度直接影响产品质量与设备寿命。