VCR(Vacuum Coupling Retainer)过滤垫片气体管路密封限流接头是一种用于气体管路连接的部件。它主要起到密封、过滤和限流的作用。
MF系列仪器保护专用过滤器、全金属材质、专为半导体气体分配系统设计、兼容114”、3/8”及1/2”VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装、是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下、能有效阻隔微粒侵袭...
BF系列大宗气体专用过滤器、专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计、采用全316L不锈钢精密打造、多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损、过滤精度高达0.003μm、满足超高纯工艺需求,整体金属构造、是高温动态环境下的理想过滤解决...
HF系列高压气体专用过滤器采用316l不锈钢经高温烧结制成,具有良好的机械性和刚性,耐高温、耐腐蚀、透气,易于清洁的特点;滤芯式的设计可更换滤芯,可以重复使用,使用寿命长;可去除压缩空气中的油、水、异物等杂质,改善下游干燥机的功能,延长精密...
0F系列在线式专用气体过滤器,专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容...
在半导体制造过程中,气体分配系统的洁净度和密封性是确保生产顺利进行的关键因素。微小的颗粒污染或泄漏都可能导致生产中断,甚至影响芯片的质量和性能。因此,选择高质量的VCR过滤垫片成为确保半导体生产顺利进行的关键。恒歌科技作为专业的金属烧结过滤...
在半导体制造过程中,气体分配系统的纯净度直接关系到产品的质量和良率。任何微小的颗粒污染都可能导致设备故障或产品缺陷,造成巨大的经济损失。因此,选择一款高效、可靠的过滤器至关重要。作为一家专业的不锈钢烧结滤芯生产厂家,恒歌推出的MF系列仪器保...
在半导体行业,气源的纯净度、稳定性和润滑性对于保证生产过程的稳定性和产品质量至关重要。恒歌不锈钢气动三联件由空气过滤器、减压阀和油雾器三大元件组成,采用不锈钢材质,具有耐腐蚀、结构精巧、工艺精良等特点。以下是恒歌不锈钢气动三联件在半导体行业...
保护精密气体系统的可靠解决方案:(1)这种全金属过滤器专为半导体气体分配系统设计,可与 1/4“ 、3/8” 和 1/2" VCR 标准垫片接口无缝兼容。2) 垫圈式设计确保安装简便,是 MFC(质量流量控制器)模块、精密阀门和压...
在半导体制造的微观世界里,哪怕是极其微小的杂质颗粒都可能导致芯片出现严重的缺陷,从而影响整个电子产品的性能和可靠性。因此,对于高压高纯气体输送系统中的气体纯净度有着严苛的要求,这使得专业的气体过滤设备成为了关键所在,而恒歌 HF 系列高压气...
KF系列真空系统气体过滤器易于安装于真空系统,特别适用于实现清洁、快速且低湍流的回填过程有效提升产品产量和设备吞吐量。在规范安装及操作条件下,可确保产品完整性达3,000,000次循环。该过滤器广泛应用于半导体设备接口(如CVD、PVD、E...
直线过滤器采用316L不锈钢材质,线型结构紧凑,用于空间受限的环境下过滤气体或液体中的微固体,以保护下游流体设备。最高工作压力可达207bar;最高工作温度204℃;多种过滤精度:2-5微米,5-10微米,20-40微米。广泛应用于实验室、...