半导体气体直线过滤器_工业气体过滤器

直线过滤器采用316L不锈钢材质，线型结构紧凑，用于空间受限的环境下过滤气体或液体中的微固体，以保护下游流体设备。最高工作压力可达207bar；最高工作温度482℃；多种过滤精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。

产品特点

▶ 整体316L不锈钢结构

▶ 高通量、低阻力

▶ 超高颗粒拦截率

▶ 耐高温、耐高压、耐腐蚀、适用于多种工艺气体、适用于洁净室环境内制造、测试、包装100%完整性测试

▶ 100%氨气检漏测试

F型直通式过滤器

1、结构紧凑，节省空间

2、工作压力可达: 207bar(3000psig)

3、工作温度:-28~ +482℃

工艺气体直线过滤器

精准清除UHP超纯气流微粒   安装简便、结构紧凑轻盈