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半导体气体过滤器
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VCR高纯度多孔金属限流器气体高流量过滤器100%氦气测试

  • RF系列多孔金属限流器RF系列多孔金属限流器,通过与不同规格的气阻配件结合,安装在压缩气体供应管线和气体分配歧管中,以防止由于气体管线破裂、阀门或压力调节器故障,引起的意外高气体流量。在半导体制程气体输送分配系统中,用于保护气体流量稳定可靠,减少气体流动负担,避免气体过载引发不良后果。结构坚固,更换便捷。
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RF系列多孔金属限流器

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