高纯气体过滤器材质如何选择？(高纯气体过滤器多久换一次?)

目前高纯气体过滤大多是国外的供应商，国内做的好的厂家不多。看似简单，其实对工艺和材质要求是很高的，对于耐高温，耐压，耐腐蚀，惰性要求之高，可以说对过滤材料最高要求。

高纯气体过滤器是一种用于高纯气体(如氮气、氢气)过滤的装置。

高纯气体过滤器用量大，要求很高，竞争度小，这是很多过滤设备生产商一块主要板块。

应用：医疗，食品，电子，半导体制造，石油化工、太阳能、液晶面板制造等行业。

过滤器外壳材质：二次提纯不锈钢316L不锈钢或镍过滤器外壳，EP表面电子抛光。

高纯气体过滤器材质主要有哪些？

市面高纯气体过滤器材质有：不锈钢，镍合金，特氟龙PFA滤膜 ,316L烧结不锈钢、烧结金属镍多孔金属过滤器、Hastelloy C-22烧结多孔金属(哈氏合金)等；

高纯气体过滤具体参考以下仅供参考

（已咨询恒歌科技销售工程师取得参数为准）

颗粒过滤效率: 标称流量下，≥99.9999999%(9-LRV) (依照SEMI F38-0699测试规范，0.08µm MPPS(最容易穿透点颗粒尺寸)过滤效率确认)

颗粒过滤尺寸: ≥0.0015 µm(1.5nm)

最大工作压力: 3750 psig (258.5 barg)

最高使用温度: 450°C(for Inert Gas)

最大耐受压差: 1000 psid (68.9 bar)

高纯气体过滤器多久换一次?

高纯气体过滤器的更换周期并不是一个固定的时间间隔，而是取决于多个因素，包括过滤器的类型、使用条件、过滤效率要求以及过滤器的性能衰减情况等。

半导体超纯气体过滤中的氦气泄漏检测

超纯气体，如氢气、氮气、氧气等，广泛用于半导体制造过程中，从晶圆制备到蚀刻、清洗等工艺环节，超纯气体的纯净度直接关系到产品的质量与性能，氦气作为一种标准检测气体，因此氦气泄漏检测非常重要。

氦气泄漏检测可用于验证超纯气体过滤器的密封性和泄漏率，在过滤器使用前，确保其不泄漏，能够有效阻挡微小颗粒物或杂质的进入，从而保护产品的质量。

当前，按照SEMI标准进行的检测中，氦气泄漏检测已成为确保设备和组件符合高纯度气体供应要求的必要手段，使用氦气泄漏检测，过滤企业可以保证其产品符合严格的行业标准。

高纯度气体如何净化?

高纯度气体的净化方法主要有：吸附、吸收法、膜分离法、离子交换法等。

1、吸附净化：

利用多孔性固体吸附剂将气体中的杂质吸附到其表面而达到净化的目的。常用的固体有活性碳和硅胶两种，其中活性碳是应用较多的一种材料;另外还有活性炭纤维、沸石分子筛等材料也被应用于此领域。

2、吸收净化：

利用液体吸收液体的方式去除废气中的有害成分的方法称吸收净化方法(简称吸脱附)。常用的液体有氨水、氢氧化钠溶液等碱液以及次氯酸钠溶液等酸液，它们都是良好的吸收剂，但它们的浓度应适当并控制好使用条件才能效果良好。

3、膜分离技术：

膜分离是利用半渗透膜的截留作用使溶剂从被污染的物质中转移出去的过程。它具有高效、节能等优点而被广泛应用在各种化工过程及环保工程中。

(1)微滤器又称精密过滤器和超滤器;

(2)纳污量小;

(3)操作压力低;

(4)可在线再生;

(5)能耗较低;

(6)无相变;

(7)耐腐蚀性能好;

(8)使用寿命较长;

(9)占地面积小;

(10)自动化程度高等优点;

(11)适用于各种悬浮液的固液萃取和除杂;

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