半导体气体分配系统的必备：恒歌VCR过滤垫片！

在半导体制造过程中，气体分配系统的洁净度和密封性是确保生产顺利进行的关键因素。微小的颗粒污染或泄漏都可能导致生产中断，甚至影响芯片的质量和性能。因此，选择高质量的VCR过滤垫片成为确保半导体生产顺利进行的关键。恒歌科技作为专业的金属烧结过滤器生产厂家，为您带来专为半导体气体分配系统设计的316L不锈钢VCR过滤垫片，为您的设备提供全方位的保护。

一、为什么选择恒歌VCR过滤垫片?

(一)卓越的材料性能

恒歌VCR过滤垫片采用316L不锈钢材质，这种超低碳的不锈钢具有优异的耐腐蚀性、耐高温性和机械强度。316L不锈钢的低碳含量减少了碳化物析出的风险，进一步提高了材料的耐腐蚀性和焊接性能，使其在半导体制造环境中表现出色，能够承受极端的工作条件。

(二)高洁净度和密封性能

恒歌VCR过滤垫片采用先进的烧结工艺，确保孔隙结构均匀且稳定。这种高精度烧结工艺能够实现微米级甚至亚微米级的精准过滤，有效拦截气体中的微小颗粒杂质。通过严格控制烧结温度和时间，恒歌生产的VCR过滤垫片具有高负载能力和良好的再生能力，即使在高流量和高压力的条件下也能保持稳定的过滤性能。

(三)定制化解决方案

恒歌科技深知不同半导体制造工艺对VCR过滤垫片的特定要求，因此提供定制化解决方案。无论是圆形、椭圆形还是其他特殊形状的垫片，恒歌都能根据客户的具体需求进行设计和制造。此外，恒歌还提供不同孔径范围的烧结滤芯，从0.1μm到120μm，以满足不同气体分配系统对过滤精度的要求。

二、恒歌MF系列仪器保护专用过滤器

恒歌MF系列仪器保护专用过滤器专为半导体气体分配系统设计，采用全金属材质，兼容1/4"、3/8"及1/2" VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装，是质量流量控制器(MFC)、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃的环境下，能有效阻隔微粒侵袭，守护敏感气体组件，延长设备寿命，预防因微粒污染导致的泄漏风险。

(一)产品特点

整体316L不锈钢结构：耐高温、耐高压、耐腐蚀，确保在恶劣环境下的长期稳定运行。

表面密封设计：无需额外的切割或焊接管道，安装便捷，节省时间和成本。

（二）多种型号可选：

高压型：适用于高压系统管路，最大正向压差可达2.9 MPa(1/2")和10.4 MPa(1/4")，流量范围为0-300 slpm。

低压型：适用于低压系统管路，最大使用压力为0.98 MPa，流量范围为0-100 slpm。

三、在半导体行业的应用优势

(一)保护精密设备

恒歌VCR过滤垫片能够有效阻隔微粒侵袭，保护质量流量控制器(MFC)、精密阀门和稳压设备等关键组件。在高达400℃的环境下，恒歌的VCR过滤垫片仍能保持稳定的过滤性能，延长设备寿命，预防因微粒污染导致的泄漏风险。

(二)兼容性强

恒歌VCR过滤垫片与1/4"、3/8"和1/2" VCR标准垫片接口无缝兼容，适用于多种半导体气体分配系统。这种兼容性使得VCR过滤垫片能够轻松集成到现有的气体分配系统中，无需额外的切割或焊接工作。

(三)经济高效

恒歌的316L不锈钢VCR过滤垫片不仅性能卓越，而且具有较高的性价比。其耐高温、耐高压和耐腐蚀的特性使其能够在恶劣的工作环境中长期稳定运行，减少了更换频率和维护成本。此外，恒歌提供的定制化服务能够根据客户的实际需求优化垫片设计，进一步提高系统的整体效率。

恒歌科技致力于为半导体行业提供高质量的316L不锈钢VCR过滤垫片，确保气体分配系统的洁净度和密封性。通过先进的制造技术和严格的质量控制，恒歌的VCR过滤垫片能够满足半导体制造过程中对高纯度气体分配的严格要求。选择恒歌科技，就是选择一份可靠、高效和经济的解决方案。

在半导体行业的竞争中，设备的可靠性和生产的稳定性是企业成功的关键。恒歌的316L不锈钢VCR过滤垫片凭借其卓越的洁净度控制和密封性能，成为半导体气体分配系统的首选。无论您是正在寻找高性能的过滤解决方案，还是需要升级现有的气体分配系统，恒歌科技都能为您提供满意的答案。

了解更多产品信息，请访问恒歌科技官网！

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