关于高纯气体系统专用气体过滤器，你知道嘛?

高纯气体系统用气体过滤器，是依据碰撞、扩散和截获机理将气体中粒子过滤掉的装置。以下是对其的详细介绍：

一、作用与重要性

在超高纯气体或电子气体供气系统中，为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子，应在阀门和配件下游和使用气前安装过滤器。这在高纯气体系统中尤为重要，因为集成电路发展到兆位级后，对超净提出了更严格要求。例如，SEMI标准对10011级以管道供给的氮和氩气中规定≥0.1μm粒子≤0.4个/L;16MDRAM用气中>0.1μm的粒子<1个/L。

二、选型与规格

粒子过滤器的选型及规格视气体控制规范而定。过滤器壳体一般采用316不锈钢，滤芯有烧结的多孔金属滤芯、耐腐蚀耐热的镍基合金、100%镍合金、铝陶瓷、Teflon膜、陶瓷膜等。

三、应用场景

高纯气体系统用气体过滤器广泛应用于各种需要高纯气体的场合，如半导体生产、集成电路制造、生物医药、食品加工、实验室等。在这些场合中，气体中的微小粒子可能会对产品质量、生产效率或人员健康造成严重影响，因此需要使用高纯气体系统用气体过滤器来确保气体的纯净度。

四、品牌与供应商

市场上存在多个知名品牌和供应商提供高纯气体系统用气体过滤器，如恒歌等。这些品牌和供应商通常具有丰富的经验和先进的技术，能够为客户提供高质量、可靠的气体过滤器产品和解决方案。

五、价格与维护

高纯气体系统用气体过滤器的价格因品牌、型号、规格等因素而异。一般来说，高品质、高性能的气体过滤器价格相对较高。同时，为了确保气体过滤器的持续有效运行，需要定期进行维护和更换滤芯等操作。这些操作可能会增加一些额外的成本，但相对于因气体污染而造成的损失而言，这些成本是值得的。

正确选择和使用气体过滤器可以确保气体的纯净度，提高产品质量和生产效率。因此，在选择气体过滤器时，需要综合考虑多个因素，包括气体控制规范、滤芯材质、应用场景等，以确保选择到最适合自己需求的气体过滤器。

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