恒歌 BF 系列大宗气体专用过滤器：半导体制程的高纯保障！

在半导体制造这一追求极致精度与纯度的领域，每一个环节都不容有丝毫杂质干扰。恒歌 BF 系列大宗气体专用过滤器，专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用精心打造，以卓越性能成为保障制程纯净度的关键一环。

一、超凡设计，铸就卓越性能

1、坚固材质根基：采用全 316L 不锈钢精密打造，316L 不锈钢凭借其出色的抗腐蚀性能，能够从容应对半导体制造过程中复杂且具有腐蚀性的气体环境。无论是长期接触强氧化性气体，还是处于湿度变化较大的工况，过滤器都能稳定运行，确保自身结构不受侵蚀，为高效过滤提供坚实的硬件基础。

2、创新介质构型：多柱状或叠盘状介质设计是该系列过滤器的一大亮点。这种独特构型极大地增加了气体与过滤介质的接触面积，在保证高流通量的同时，实现了低阻损效果。大量的工艺气体能够顺畅通过过滤器，而不会因阻力过大导致气体压力下降，影响生产效率。同时，更大的接触面积意味着更高的过滤效率，能够更精准地捕捉气体中的微小颗粒。

3、极致过滤精度：该过滤器的过滤精度高达 0.003μm，这一数值在行业内处于领先水平。在半导体制造中，哪怕是极其微小的颗粒杂质，都可能对芯片的性能和成品率产生严重影响。BF 系列过滤器能够有效拦截超细微粒，满足超高纯工艺对气体纯净度的严苛需求，为半导体芯片的高精度制造保驾护航。

二、多元特性，适配复杂工况

1、耐高温高压耐腐蚀：半导体制造过程中，部分工艺环节需要在高温、高压环境下进行，同时所使用的气体往往具有一定腐蚀性。恒歌 BF 系列过滤器的整体金属构造使其具备卓越的耐高温、耐高压和耐腐蚀性能。它可以在高温动态环境下稳定运行，不会因温度、压力的波动以及气体的腐蚀作用而降低过滤效果或损坏设备，是应对复杂工况的理想过滤解决方案。

2、广泛气体适用性：适用于多种工艺气体，无论是常见的氮气、氢气、氧气等大宗气体，还是半导体制造中使用的一些特殊气体，如硅烷、磷烷、砷烷等，该过滤器都能发挥出色的过滤性能。这一特性使得它能够广泛应用于半导体制造的各个环节，满足不同工艺对气体过滤的需求。

3、洁净室环境适配：过滤器适用于洁净室环境内制造、测试、包装，这一特点与半导体制造车间的洁净要求高度契合。在洁净室内，过滤器自身不会产生二次污染，其生产、测试和包装过程都遵循严格的洁净标准，确保过滤器在交付使用时处于高度洁净状态，不会对洁净室内的高纯环境造成任何负面影响。

4、严格质量检测保障：每一台 BF 系列过滤器都经过 100% 完整性测试和 100% 氨气检漏测试。完整性测试确保过滤器的过滤介质无破损、无泄漏，能够有效拦截目标尺寸的颗粒杂质;氨气检漏测试则进一步检测过滤器的密封性，保证在实际使用过程中，气体不会从过滤器的连接处或其他部位泄漏，从而确保过滤效果和生产过程的安全性。

恒歌 BF 系列大宗气体专用过滤器，凭借其出色的设计、卓越的性能和严格的质量把控，成为半导体制程中不可或缺的关键设备，为半导体行业的高质量发展提供了坚实的支持。

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