恒歌科技

扫微信-恒歌科技

24h咨询热线:

13544009780
当前位置: 主页 > 新闻动态 > 行业新闻
新闻动态News
大家还在看

热门专题

空压机精密过滤器 特气柜电子气气体过滤器 多孔金属纳米过滤器 电子特气过滤器 不锈钢电子特气过滤器 高纯多孔金属限流器 高效高纯分离纳米气体过滤器 大流量过滤器 真空系统过滤器 传感器探头保护罩 不锈钢滤芯 工业温湿度传感器探头外壳 温湿度传感器探头外壳 温湿度传感器外壳 金属气体过滤器 高纯气体过滤器 纳米级气体过滤器 烧结多孔金属滤杯 不锈钢过滤杯 不锈钢气体过滤器 曝气头 不锈钢滤芯厂家 波峰焊回流焊氮气管 气动消音器 气动三联件生产厂家 气源三联件 气动三联件 不锈钢烧结消音器 不锈钢烧结氮气管 不锈钢烧结滤管 温湿度传感器探头保护罩 温湿度变送器探头外壳 烧结不锈钢传感器保护罩 不锈钢烧结降噪消音器 纳米烧结不锈钢曝气头 烧结过滤片 多孔烧结金属滤柱 气体管道输送阻燃阻火阀 VCR过滤垫片 高压气体专用过滤器 多孔金属限流器 半导体气体过滤器厂家 恒歌半导体气体过滤器 扩散器专用过滤器 半导体过滤器厂家 定制类不锈钢过滤器 半导体过滤器 多孔烧结金属滤片 不锈钢烧结过滤器 不锈钢烧结滤芯生产厂家 烧结不锈钢过滤器生产厂家 烧结不锈钢滤芯生产厂家 粉末烧结滤芯 气体过滤器 半导体滤芯 不锈钢烧结滤芯 金属烧结过滤器 高压高纯气体过滤器 过滤器 不锈钢过滤器 不锈钢过滤片 过滤片

3纳米5纳米气体过滤:半导体制程中高压高纯气体过滤的革新之路!

作者:烧结过滤器专家 发布时间:2025-06-18 10:04:49人气: 来源:金属烧结过滤器厂家

在半导体制造领域,芯片制程技术正朝着纳米级甚至埃米级不断突破。制造一枚指甲盖大小的芯片,需要经历光刻、蚀刻、沉积等数百道精密工序,而每一道工序都离不开高压高纯气体的参与。从用于刻蚀的氟基气体,到用于沉积的硅烷气体,这些气体的纯净度直接决定了芯片的性能与良品率。哪怕是 0.1 纳米级别的杂质颗粒,都可能导致芯片电路短路、信号传输异常,使得价值百万的晶圆沦为废品。因此,高压高纯气体输送系统和超高纯气体箱系统中的气体过滤,成为半导体制造产业链中至关重要的 “守门人”。


然而,当前半导体行业在高压高纯气体过滤方面面临诸多严峻挑战。传统高压气体过滤器的选择性较差,难以针对不同性质的气体进行精准过滤。例如,在处理含氟气体时,部分过滤器材料会与氟气发生化学反应,不仅导致过滤效果不稳定,还会引入新的杂质,影响气体纯度。同时,现有产品的过滤精度普遍不足,对于纳米级甚至亚纳米级的颗粒杂质,传统过滤器往往束手无策。据行业统计,因气体杂质导致的芯片制造缺陷,约占总缺陷数的 18% - 22%,极大制约了半导体企业的生产效率和经济效益。

长时间高压工作环境,更是让传统过滤器的弊端暴露无遗。在半导体制程中,高压气体的压力通常在 10 - 50Mpa 之间,且需持续稳定供应。传统过滤器在这样的工况下,极易出现老化、损坏现象。密封件的磨损、过滤材料的变形,不仅降低了过滤器的使用寿命,还可能引发气体泄漏,带来安全隐患。频繁的设备更换和维护,也使得企业的运营成本大幅增加。

芯片3.png

深入探究这些问题产生的根源,主要涉及材料、结构和技术三个层面。材料方面,传统过滤器多采用普通不锈钢或塑料材质,其化学稳定性和机械强度难以满足半导体行业的严苛要求;结构设计上,缺乏对高压环境下密封性和紧凑性的优化,导致安装空间浪费且易出现泄漏点;过滤技术层面,传统滤芯的拦截效率和容尘能力有限,无法适应半导体制造中高流量、高精度的过滤需求。


要攻克这些难题,必须从材料创新、结构优化和技术升级三方面协同发力。在材料选择上,需采用具有超高化学稳定性、高强度和抗腐蚀性的材质;结构设计要兼顾高压密封性、空间利用率和便捷维护性;过滤技术则要实现对纳米级颗粒的高效拦截和长效稳定运行。

316L 不锈钢凭借其卓越的综合性能,成为高压高纯气体过滤器的理想基材。它不仅具备优异的耐高温、耐高压和耐腐蚀特性,能够在 - 20℃至 600℃的极端温度和 50Mpa 的高压环境下稳定工作,而且其极低的金属离子析出率,避免了对气体的二次污染。在半导体制程中使用 316L 不锈钢材质的过滤器,能够有效保障气体的超高纯度,为芯片制造提供可靠的气体环境。


结构设计的创新同样至关重要。轻量化、小型化的设计理念,配合精密的螺纹连接和科学的密封结构,使得过滤器在节省安装空间的同时,确保了整个过滤系统在高压环境下的密封性。恒歌高压气体专用过滤器采用先进的结构设计,兼容 C 型和 WV 型等多种密封规格,可根据不同的气体输送系统和设备需求进行灵活适配,为半导体企业提供个性化的解决方案。


5ee6020e.jpg



在过滤技术方面,恒歌高压气体专用过滤器实现了重大突破。其采用的新型过滤材料和创新工艺,能够有效拦截 0.003 微米以上的颗粒杂质,对尘埃、铁锈、油雾及碳氢化合物的过滤效率高达 99.999%。独特的滤芯结构设计,使其具备出色的抗堵塞能力,即使在高流量、高压力的工作条件下,也能保持稳定的过滤性能,大幅减少了滤芯更换频率和维护成本。此外,每一台恒歌高压气体专用过滤器都经过 100% 完整性测试和 100% 氢气泄露检测,确保产品质量达到行业领先水平。

除了卓越的过滤性能,恒歌高压气体专用过滤器在安装与检修方面也极具优势。其轻量化、模块化的设计,使得安装过程简便快捷,无需复杂的工具和专业人员即可完成。滤芯可更换设计,进一步提升了设备的维护效率,企业无需长时间停机,就能快速完成滤芯更换和设备检修,有效保障了生产的连续性。


从天然气、石油行业的长距离气体输送,到半导体芯片的精密制造;从化工、冶金领域的高压生产,到汽车工业的自动化作业,恒歌高压气体专用过滤器凭借其整体 316L 不锈钢结构、轻量化小型化设计、高过滤效率、不易堵塞以及便捷的安装检修等核心优势,为各行业提供了专业、可靠的高压气体过滤解决方案。


别人还看了:

以上就是关于 3纳米5纳米气体过滤:半导体制程中高压高纯气体过滤的革新之路! 全部内容;

版权保护: 本文由 烧结过滤器专家 原创,转载请保留链接:https://hengko.com.cn/xinwendongtai/1479.html

客户评价

  • 来自深圳龙岗区某PCB线路板工厂的评价
  • 定制的烧结不锈钢滤芯做工很好,我们选用316不锈钢材质,耐高温耐腐蚀性很好,恒歌科技技术配合度高,合作愉快,推荐合作!
  • 来自东莞某大型电子厂的反馈
  • 恒歌是我们老供应商了,合作多年,他们不锈钢过滤器做工很精细,防尘防水耐腐蚀,定制微孔分布均匀,过滤效果非常好!
  • 来自天津某过滤机械设备厂家的评价
  • 恒歌是我们一直合作的滤芯生产厂家,这次又定制一批不锈钢烧结网,整块板微孔要求1.-1.5毫米 200目;交货速度杠杠滴,技术支持非常棒!
  • 来自广东广州某液化气公司反馈
  • 定制采购一批用作汽柴油的油品净化的多孔不锈钢粉末烧结过滤管,微孔要求0.4-0.6um,两头通气;效果很满意,定制速度快!
  • 来自东莞厚街某过滤机械厂家的反馈
  • 采购了几次恒歌不锈钢滤芯,定制的1um高精度微孔烧结片和316不锈钢粉末烧结板,质量杠杠滴,推荐合作!
    在线咨询
    服务热线

    服务热线

    13544009780

    微信咨询
    返回顶部