恒歌金属过滤垫片：半导体气体过滤的可靠之选！

在半导体气体分配系统中，过滤垫片是保障气体洁净度的关键元件，其性能直接影响着整个系统的稳定运行。深圳恒歌研发的金属过滤垫片，以全金属结构为核心，结合卓越的过滤性能，成为半导体气体过滤领域的可靠之选。

金属过滤垫片采用 316L 不锈钢整体打造，这种材质具有优异的耐腐蚀性和耐高温性，能够适应半导体制造过程中各种复杂的气体环境和高温工艺条件。与传统的非金属过滤垫片相比，金属材质从根本上避免了因材料老化、分解而产生微粒的问题，确保不会对气体造成二次污染，为气体的洁净度提供了坚实保障。

作为专为半导体气体分配系统设计的过滤元件，金属过滤垫片在接口适配性上表现出色，兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 标准垫圈接口。这使得它能够轻松应用于不同规格的气体管路中，无论是在 MFC 模块、精密阀门还是稳压设备的前端过滤，都能实现完美对接，为各类精密设备提供有效的颗粒防护。

安装便捷性是金属过滤垫片的一大优势。它采用垫片式设计，作为表面密封的过滤元件，安装时无需对管道进行切割或焊接等复杂操作，只需按照标准的 VCR 接口安装流程进行紧固即可。这种安装方式不仅简化了操作步骤，缩短了安装时间，还降低了因安装过程不当而导致的泄漏风险，确保系统的密封性和安全性。

金属过滤垫片的过滤精度≥0.3μm，能够高效拦截气体中的微小颗粒，防止这些颗粒进入敏感的气体组件。在半导体制造中，这些微小颗粒可能会导致设备磨损、性能下降，甚至引发气体泄漏等严重问题。金属过滤垫片的高效过滤能力，能够最大限度地减少颗粒污染带来的危害，延长设备的使用寿命，降低维护成本。

考虑到不同半导体系统的压力需求，金属过滤垫片分为适用于高压系统管路和低压系统管路(VCR 过滤垫片)两种类型。适用于高压系统的金属过滤垫片，1/2’’规格的最大正向压差可达 2.9Mpa，1/4'' 规格的最大正向压差高达 10.4Mpa，流量范围在 0~300slpm，能够满足高压、大流量场景的过滤需求;适用于低压系统的金属过滤垫片，最大使用压力为 0.98Mpa，流量范围在 0~100slpm，同时提供 0.3μm、1.0μm、5μm、10μm 等多种过滤精度选择，可根据不同的工艺要求灵活搭配。

金属过滤垫片还具备在现有配管上安装的能力，这为半导体企业的设备升级和改造提供了极大的便利。企业无需对现有的管路系统进行大规模改动，就能快速更换或加装金属过滤垫片，提升系统的过滤性能，以经济高效的方式实现气体洁净度的提升。

在半导体制造过程中，泄漏风险是必须严格防范的问题。金属过滤垫片通过与 VCR 接口的紧密配合，形成可靠的密封，同时其高效的过滤性能减少了微粒对密封面的磨损，进一步降低了泄漏风险，为半导体工厂的安全生产提供了有力保障。

深圳恒歌始终致力于为半导体行业提供高品质的过滤解决方案，金属过滤垫片便是其中的重要成果。它凭借全金属结构的可靠性、优异的过滤性能、便捷的安装方式和广泛的适配性，成为半导体气体过滤的理想选择，为半导体企业的稳定生产和产品质量提升提供了坚实支持。

无论是在大规模的半导体生产线上，还是在精密的研发实验室中，金属过滤垫片都能发挥稳定可靠的过滤作用，为半导体气体分配系统输送洁净的气体。选择恒歌金属过滤垫片，就是选择了一种高效、可靠、经济的过滤方案，让半导体设备在洁净的环境中高效运转，为产业的发展贡献力量。

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