BF系列大宗气体专用过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003um,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决...
扩散器专用过滤器,专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性,扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。独特的全316L不锈钢结构,不仅确保高效过滤,更巧妙的规避了湍流产生,对工艺室...
RF系列多孔金属限流器、通过与不同规格的气阻配件结合、安装在压缩气体供应管线和气体分配歧管中、以防止由于气体管线破裂、阀门或压力调节器故障、引起的意外高气体流量。在半导体制程气体输送分配系统中、用于保护气体流量稳定可靠、减少气体流动负担、避...
TF系列工艺气体专用过滤器、专为半导体领域设计、精准清除UHP超纯气流微粒、保障生产纯净度。其安装简便、仅需气路对接与螺母紧固、避免焊接风险、确保密封无忧。采用顶级316L不锈钢全材打造、结构紧凑轻盈、大幅降低压力损耗、展现卓越微粒过滤效率...
VCR(Vacuum Coupling Retainer)过滤垫片气体管路密封限流接头是一种用于气体管路连接的部件。它主要起到密封、过滤和限流的作用。
MF系列仪器保护专用过滤器、全金属材质、专为半导体气体分配系统设计、兼容114”、3/8”及1/2”VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装、是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下、能有效阻隔微粒侵袭...
BF系列大宗气体专用过滤器、专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计、采用全316L不锈钢精密打造、多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损、过滤精度高达0.003μm、满足超高纯工艺需求,整体金属构造、是高温动态环境下的理想过滤解决...
半导体制造:在半导体生产过程中,需要输送大量的高纯气体,如氢气、氮气等。VCR 过滤垫片气体管路密封限流接头可以确保气体的纯度,防止杂质进入生产设备,同时精确控制气体流量,保证芯片制造过程的稳定性和可靠性。
HF系列高压气体专用过滤器采用316l不锈钢经高温烧结制成,具有良好的机械性和刚性,耐高温、耐腐蚀、透气,易于清洁的特点;滤芯式的设计可更换滤芯,可以重复使用,使用寿命长;可去除压缩空气中的油、水、异物等杂质,改善下游干燥机的功能,延长精密...
0F系列在线式专用气体过滤器,专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容...
直线过滤器采用316L不锈钢材质,线型结构紧凑,用于空间受限的环境下过滤气体或液体中的微固体,以保护下游流体设备。最高工作压力可达207bar;最高工作温度204℃;多种过滤精度:2-5微米,5-10微米,20-40微米。广泛应用于实验室、...
BF系列大宗气体专用过滤器,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计,采用全316L不锈钢精密打造,多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损,过滤精度高达0.003um,满足超高纯工艺需求。整体金属构造,是高温动态环境下的理想过滤解决...