在半导体制造这个超精细的世界里,工艺气体的纯净度那可是重中之重。一点点杂质,都可能让芯片出现瑕疵,影响性能甚至直接报废。这时候,BF 系列大宗气体专用过滤器就闪亮登场啦!
BF 系列过滤器,那可是专门为半导体制程里超高纯工艺气体的在线过滤量身定制的。它全身都是用 316L 不锈钢精心打造而成,这种材质耐腐蚀又耐用,在半导体生产环境里能稳稳地发挥作用。
它的内部结构设计超巧妙,有多柱状或者叠盘状的介质。这有啥好处呢?就是在保证气体高通量的同时,还能把阻力损失降到最低。就好比高速公路上,车流量大但又不堵车,气体能顺畅地通过过滤器,一点不耽误事儿。
再说说它的过滤精度,能达到 0.003um!这是啥概念呢?就是那些极其微小的杂质颗粒,都别想逃过它的 “法眼”,统统被拦截在外。这样一来,就能完美满足超高纯工艺对气体纯净度的严苛要求。
而且哦,它整体都是金属构造,所以在高温动态环境里,就像在半导体生产过程中经常遇到的那种复杂又高温的环境,它依然是最理想的过滤方案。它就像一个忠诚的卫士,稳稳地站在那里,确保每一丝进入制程的工艺气体都是纯净无比的,为制造出高质量的芯片保驾护航。 有了 BF 系列过滤器,半导体企业就能更放心地进行生产,不用担心杂质对芯片质量的干扰,大大提高了生产的稳定性和产品的良品率。
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