半导体BF 系列气体过滤器过滤原理！

在半导体制造这个对纯净度要求极高的精密领域里，BF 系列大宗气体专用过滤器的过滤原理犹如一场微观世界里的精准 “筛选大赛”。

当含有各类杂质的工艺气体进入到 BF 系列过滤器时，首先面临的是多柱状或叠盘状介质所构建起的复杂且有序的过滤通道。这些介质就像是一个个精心设计的迷宫关卡，气体分子必须在其中穿梭前行。对于那些尺寸大于 0.003um 的颗粒杂质来说，它们就如同体型庞大的 “巨人”，根本无法顺利通过这些狭窄且精密的通道。这些杂质颗粒会被介质表面所吸附或者直接被阻挡在通道入口处，就好像被一道坚固的城墙拦住了去路，只能无奈地被拦截下来，从而无法继续在气体流中 “捣乱”。

而对于一些气态杂质，比如水分、有机挥发物等，过滤器的介质则凭借其特殊的物理化学性质与之发生作用。例如，介质表面可能具有一些活性基团或者微小的孔隙结构，这些就像是一个个 “陷阱”。当气态杂质分子靠近时，会被这些活性基团所吸引，或者被孔隙所捕获，从而从气体中分离出来。就如同苍蝇被粘蝇纸粘住一般，这些气态杂质被牢牢地固定在介质上，使得经过过滤后的气体中此类杂质含量大幅降低。

在整个过滤过程中，气体分子在压力差的驱动下持续地通过过滤器。由于过滤器的巧妙设计，在确保能够有效拦截微小杂质的同时，又不会对气体的流通造成过大的阻碍，从而实现了在高流通量下依然能够保持低阻损的卓越性能。这种精准的过滤原理，使得 BF 系列过滤器能够将工艺气体中的杂质层层剥离，最终输出超高纯度的气体，为半导体制造工艺提供了极为可靠的气体纯净度保障，满足了从芯片的精细光刻到复杂蚀刻等各个关键工序对气体品质的严苛要求，成为半导体产业中不可或缺的关键环节。

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